Электронная промышленность

Особенности: лотки для травления изготовлены из керамического карбида кремния высокой чистоты, способом спекания без давления. Они отличаются высокой твердостью, коррозионной стойкостью, износостойкостью, длительным сроком службы, высокой точностью и хорошей однородностью травления эпитаксионного слоя пластин. Применение: процесс травления в индуктивно связанной плазме эпитаксиальных пленочных материалов (GaN, SiO 2 и т. д.) для светодиодных пластин, прецизионных керамических деталей для диффузии полупроводников и процесс осаждения металлорганических соединений из газообразной фазы для полупроводниковых пластин. Типоразмеры: диаметр 50~500 мм, толщина: 3 ~ 20 мм, возможно изготовление с требуемыми заказчиком размерами.